HAP-100系列高精度隔振平台是在HAP系列隔振平台的基础上,根据用户要求载荷能力较大的使用情况,研制开发的产品,其保持了原HAP平台的优点,在重载荷下具有抗系统干扰的能力,该产品适用于对隔振要求较高,平台工作台面大,载荷要求高的环境。
上海/太仓天核机电有限公司(原上海理工大学附属工厂、上海机械学院附属工厂)于1978年研制了 台光学隔振平台,这台平台目前还在中国科学院上海光机所正常使用。天核公司30多年来已经为中国数百家大学、科研机构及企业提供了超过15000台光学平台。公司目前在江苏太仓有7000多平方米厂房,数控机床、加工中心、大型数控机床100多台/套。光学平台的年生产能力为600套以上。平台常年备库300套,标准尺寸平台可以在48小时以内从工厂发货,10日内可以到达国内任何一家用户单位。 | ||||||||
HAP-100系列高精度气垫隔振平台(自动平衡) | ||||||||
HAP-100系列高精度气垫隔振平台于2000年研制成功。该系列产品获得了上海市科技进步二等奖。HAP-100系列高精度气垫隔振平台具有非常优异的垂直和水平方向的隔振性能。产品广泛应用在光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域。 | ||||||||
产品数据表 | ||||||||
型号Model | 台板尺寸(mm) | 平台整体高度(mm) | 载荷(kg) | 螺孔孔径 | 螺孔距(mm) | 支撑腿数量(只) | ||
长度 | 宽度 | 台板厚度 | ||||||
HAP-100-0906 | 900 | 600 | 50 | 800 | 200 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-0906 | 900 | 600 | 100 | 800 | 400 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1010 HAP-100-1208 |
1000 1200 |
1000 800 |
100 100 |
800 800 |
400 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1212 HAP-100-1509 |
1200 1500 |
1200 900
|
100 100 |
800 800 |
800 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1510 | 1500 | 1000 | 100 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1511 | 1500 | 1100 | 100 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1515 HAP-100-1810 |
1500 1800 |
1500 1000 |
200 200 |
800 800 |
800 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1812 | 1800 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2010 | 2000 | 1000 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2012 | 2000 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2015 | 2000 | 1500 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2412 | 2400 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2415 | 2400 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2518 | 2500 | 1800 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3012 | 3000 | 1200 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3013 | 3000 | 1300 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3015 | 3000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3512 | 3500 | 1200 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3513 | 3000 | 1300 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3515 | 3500 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-4015 | 4000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 8 |
HAP-100-5015 | 5000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 8 |
HAP-100-6015 | 6000 | 1500 | 400 | 850 | 3000 | M6 | 25 | 8 |
主要性能指标 | ||||||||
载荷能力: | 1000kg | |||||||
充气压力: | 0.6Mpa | |||||||
固有频率: | 垂直方向:空载:1~1.7Hz 满载:0.8Hz | |||||||
水平方向:空载:1.1~1.7Hz 满载:1.0Hz | ||||||||
动挠度系数: | 1.1×10-3 | |||||||
相对位移: | 0.22nm | |||||||
台面平面度: | 0.10mm/m2 |