主动隔振平台系列
主动隔振平台是我厂于2003年研制开发的新型高精度、高效率隔振系统,对原有的隔振理念提高了一个层次,是国内 效率的隔振系统。以通过专家组的鉴定,并获取了专利。TH主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等所用精密仪器创造稳定测量环境。TH系列可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测 设备等提供优异的隔振性能。
产品主要性能指标:
载荷能力 500~800 kg
充气压力 0.6Mpa(6kg/cm2)
固有频率 垂直方向 < 0.6HZ水平方向 < 0.8HZ
台面平面度 0.10 mm/m2
台面孔距 25mm/26mm