HAP-100系列高精度隔振平台是在HAP系列隔振平台的基礎上,根據用戶要求載荷能力較大的使用情況,研製開發的產品,其保持了原HAP平台的優點,在重載荷下具有抗系統干擾的能力,該產品適用於對隔振要求較高,平台工作台面大,載荷要求高的環境。
上海/太倉天核機電有限公司(原上海理工大學附屬工廠、上海機械學院附屬工廠)于1978年研製了 臺光學隔振平台,這台平台目前還在中國科學院上海光機所正常使用。天核公司30多年來已經為中國數百家大學、科研機構及企業提供了超過15000臺光學平台。公司目前在江蘇太倉有7000多平方米廠房,數控機床、加工中心、大型數控機床100多台/套。光學平台的年生產能力為600套以上。平台常年備庫300套,標準尺寸平台可以在48小時以內從工廠發貨,10日內可以到達國內任何一家用戶單位。 | ||||||||
HAP-100系列高精度氣墊隔振平台(自動平衡) | ||||||||
HAP-100系列高精度氣墊隔振平台于2000年研製成功。該系列產品獲得了上海市科技進步二等獎。HAP-100系列高精度氣墊隔振平台具有非常優異的垂直和水平方向的隔振性能。產品廣氾應用在光學、精密計量、精密測量、生物、醫學、微電子、半導體等各個領域。 | ||||||||
產品數據表 | ||||||||
型號Model | 台板尺寸(mm) | 平台整體高度(mm) | 載荷(kg) | 螺孔孔徑 | 螺孔距(mm) | 支撐腿數量(只) | ||
長度 | 寬度 | 台板厚度 | ||||||
HAP-100-0906 | 900 | 600 | 50 | 800 | 200 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-0906 | 900 | 600 | 100 | 800 | 400 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1010 HAP-100-1208 |
1000 1200 |
1000 800 |
100 100 |
800 800 |
400 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1212 HAP-100-1509 |
1200 1500 |
1200 900
|
100 100 |
800 800 |
800 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1510 | 1500 | 1000 | 100 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1511 | 1500 | 1100 | 100 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-1515 HAP-100-1810 |
1500 1800 |
1500 1000 |
200 200 |
800 800 |
800 800 |
M6 M6 |
25 25 |
4 4 |
HAP-100-1812 | 1800 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2010 | 2000 | 1000 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2012 | 2000 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2015 | 2000 | 1500 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2412 | 2400 | 1200 | 200 | 800 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2415 | 2400 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 4 |
HAP-100-2518 | 2500 | 1800 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3012 | 3000 | 1200 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3013 | 3000 | 1300 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3015 | 3000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3512 | 3500 | 1200 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3513 | 3000 | 1300 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-3515 | 3500 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 6 |
HAP-100-4015 | 4000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 8 |
HAP-100-5015 | 5000 | 1500 | 300 | 850 | 800 | M6 | 25 | 8 |
HAP-100-6015 | 6000 | 1500 | 400 | 850 | 3000 | M6 | 25 | 8 |
主要性能指標 | ||||||||
載荷能力: | 1000kg | |||||||
充氣壓力: | 0.6Mpa | |||||||
固有頻率: | 垂直方向:空載:1~1.7Hz 滿載:0.8Hz | |||||||
水平方向:空載:1.1~1.7Hz 滿載:1.0Hz | ||||||||
動撓度係數: | 1.1×10-3 | |||||||
相對位移: | 0.22nm | |||||||
台面平面度: | 0.10mm/m2 |